分析仪的测量单元，由光源、气体室、光纤和光谱仪（含光阑、全息光栅、线阵检测器）等组件构成。光源发出的紫外光经光学视窗进入气体室，被流经气体室的被测样气所吸收，携带被测样气吸收信息的光经透镜汇聚后耦合入光纤，经光纤传输送入光谱仪进行分光处理，即可得到气体的吸收光谱。通过对光谱进行差分分析，并结合化学计量学算法，可以得出气体中相关组分的浓度。
